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    產(chǎn)品展示
    微加工準(zhǔn)分子氣體
    微加工準(zhǔn)分子氣體


    工業(yè)技術(shù)的升級(jí)轉(zhuǎn)型需要平衡日益增長(zhǎng)的性能需求與加工速度及制造成本之間的矛盾。準(zhǔn)分子激光的誕生,以其高光子能量所稱著,在對(duì)突破材料限制需求越來越迫切的時(shí)代,準(zhǔn)分子激光器再次站在了尖端工業(yè)激光解決方案的最前沿。作為當(dāng)今最有效、最可靠的脈沖紫外激光技術(shù)的代表,準(zhǔn)分子激光器有效地推進(jìn)了諸如半導(dǎo)體、AMOLED平板顯示、薄膜、硅底板加工、有機(jī)金屬沉淀、高溫超導(dǎo)、刻蝕、材料研究、汽車制造、生物醫(yī)療、光纖、鉆石打標(biāo)設(shè)備及可替代能源等多種成長(zhǎng)型工業(yè)中的技術(shù)革新。準(zhǔn)分子激光氣體是用于準(zhǔn)分子激光設(shè)備中的激光發(fā)生器的關(guān)鍵氣體


    常見的準(zhǔn)分子激光氣體和波長(zhǎng)相關(guān):

    可用波長(zhǎng)

    193 nm

    ArF

    248 nm

    KrF

    308 nm

    XeCl

    450nm~520nm

    XeF


       

    而具體的配比和包裝物和準(zhǔn)分子激光設(shè)備的品牌和型號(hào)相關(guān):


    品 牌

    機(jī) 型

    波 長(zhǎng)

    準(zhǔn)分子激光氣體

    ATL

    ATL ARF-1

    193 nm

    F2,Ar,Xe,Ne

    ATL KRF-1

    248 nm

    F2,Kr,Xe,Ne

    TUI

    CTFTS-ARFV 2.2

    193 nm

    F2,Ar,He,Ne

    CTFTS-KRFV 2.1

    248 nm

    F2,Kr,He,Ne

    CTFTS-KRFV 2.2

    248 nm

    F2,Kr,He,Xe,Ne

    CTMD-ARFV 2.0

    193 nm

    F2,Ar,He,O2,Ne

    CTMD-XECLV 2.1

    308 nm

    HCl,H2,Xe,Ne

    CTMN-ARFV 2.0

    193 nm

    F2,Ar,He,Ne

    CTMN-ARFV 2.1

    193 nm

    F2,Ar,He,Ne

    CTMN-KRFV 1.0

    248 nm

    F2,Kr,He,Ne

    CTMN-KRFV 2.0

    248 nm

    F2,Kr,He,Ne

    CTMN-XECLV 2.0

    308 nm

    HCl,H2,Xe,Ne

    CTMN-XECLV 5.0

    308 nm

    HCl,H2,Xe,Ne

    CTMN-XEFV 1.1

    450nm~520nm

    F2,Xe,He,Ne

    CTMN-XEFV 1.2

    450nm~520nm

    F2,Xe,He,Ne

    GAM Laser

    EX5 ArF

    193 nm

    F2,Ar,He,O2,Ne

    EX5 KrF

    248 nm

    F2,Kr,He,Ne

    EX5 XeCl

    308 nm

    HCl,H2,Xe,Ne

    EX10

    193 nm

    F2,Ar,He,Ne

    EX50

    193 nm

    F2,Ar,He,Ne

    EX100

    193 nm

    F2,Ar,He,Ne

    Photomedex

    XeCl

    308 nm

    HCl,Xe,Ne

    Photoscribe

    ArF

    193 nm

    F2,Ar,Ne

    KrF

    248 nm

    F2,Kr,Ne

    PotomacPhotonics

    ArF

    193 nm

    F2,Ar,Ne

    KrF

    248 nm

    F2,Kr,Ne

    Spectranetics

    XeCl

    308 nm

    HCl,H2,Xe,Ne



    PUREGAS 只需要您提供所用激光設(shè)備的品牌型號(hào)和輸出激光的波長(zhǎng),就可以為您提供所需的特定配比的準(zhǔn)分子預(yù)混氣體!


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