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特種氣體系統(tǒng)工程施工的一般性要求

特種氣體系統(tǒng)使用的不銹鋼管應(yīng)采用全自動(dòng)軌道焊機(jī)焊接，高純氬氣保護(hù)。安裝和試驗(yàn)檢測(cè)用計(jì)量器具應(yīng)檢定合格并在有效期內(nèi)使用。特種氣體系統(tǒng)工程施工前必須編制專項(xiàng)施工方案，深圳特種氣體，并經(jīng)過業(yè)主審批后實(shí)施。主要設(shè)備材料進(jìn)場(chǎng)應(yīng)提供必要資料：產(chǎn)品合格證、質(zhì)量保證書、性能測(cè)試報(bào)告；產(chǎn)品安裝、使用、維護(hù)和試驗(yàn)要求等技術(shù)文件；產(chǎn)品規(guī)格、型號(hào)、數(shù)量、設(shè)備附件及專用工具。

特種氣體充裝要點(diǎn)

 一、永1久性氣體的充裝

 1、專業(yè)培訓(xùn)、持證上崗、遵守規(guī)程。

 2、佩戴防護(hù)用品、檢查設(shè)備。

 3、對(duì)鋼瓶復(fù)查、檢查氣密性。

 4、開啟總閥，準(zhǔn)備充氣。

 5、充裝時(shí)的檢查。

 6、發(fā)現(xiàn)問題的處理。

 7、壓力大于12.5MPa時(shí)，高純度特種氣體多少錢，禁止進(jìn)入。

 8、確定高充裝壓力。

 9、切換總閥，特種氣體廠，分類堆放好。

基準(zhǔn)溫度：是由氣體產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的基準(zhǔn)充裝標(biāo)準(zhǔn)溫 度。我國(guó)規(guī)定是20℃

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工

特氣供氣系統(tǒng)

大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線（氣體種類包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，高純度特種氣體，采用1先進(jìn)的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對(duì)穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。

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