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重要的準(zhǔn)分子激光，以稀有氣體的鹵化物為自動介質(zhì)，如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因為受激態(tài)常以星號(*)上標(biāo)表示，所以有些數(shù)據(jù)上寫成ArF*等。準(zhǔn)分子不會天然出現(xiàn)，而是在氣體混合物中放電時形成的。近年來CO2激光加工設(shè)備雖然漸趨普及，但激光畢竟是一種新的工具，激光加工技術(shù)亦不同于傳統(tǒng)的加工方法，所以工業(yè)界在引進(jìn)使用CO2激光器的過程中，曾經(jīng)遇到各種各樣的問題，給很多廠商造成不少困擾。20W機(jī)型可發(fā)生275.4至1090.0 nm的一些激光光。主要的可見光波長分別是514.5、501.7、496.5、 488.0、476.5、472.7、465.8、457.9、454.5 nm。藍(lán)綠光波段中，強(qiáng)而常用的是514.5及488 nm。氪離子激光可發(fā)生337.4至799.3 nm，強(qiáng)的是647.1 nm，其次為413.1及530.9 nm。產(chǎn)品中，有將氬氣與氪氣混合的機(jī)型。

目元激光混合氣體的方案組成比例：CO:4%,CO2：8%,He:28%,N2:60%。這種四元激光混合氣體可以是二維激光切割機(jī)床達(dá)到的輸出功率，并且切割鋼板厚度達(dá)到25mm，還可以更好的保證工件質(zhì)量。近年來CO2激光加工設(shè)備雖然漸趨普及，但激光畢竟是一種新的工具，激光加工技術(shù)亦不同于傳統(tǒng)的加工方法，所以工業(yè)界在引進(jìn)使用CO2激光器的過程中，曾經(jīng)遇到各種各樣的問題，給很多廠商造成不少困擾。Au,Cu,Ba,Sn,Pb,Zn等金屬的蒸汽，都是中性原子激光的自動介質(zhì)。它們的蒸汽中，常混入低壓力的惰性氣體，以提高放電效率。

氣體激光器的重要特點之一，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)的存在將導(dǎo)致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。因此，對激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進(jìn)行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光，可稱為第三代激光。 重要的準(zhǔn)分子激光，以稀有氣體的鹵化物為自動介質(zhì)，如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因為受激態(tài)常以星號(*)上標(biāo)表示，所以有些數(shù)據(jù)上寫成ArF*等。準(zhǔn)分子不會天然出現(xiàn)，而是在氣體混合物中放電時形成的。準(zhǔn)分子(Excimer)激光：準(zhǔn)分子一詞的本意，是「兩個同種原子組成，而只存在于受激態(tài)的分子」，如稀有氣體分子He2、Ar2、Xe2等；其英文原名為 Excited Dimer 組合成的術(shù)語。現(xiàn)在現(xiàn)已將它的適用范圍放寬，以包含「不存在于基態(tài)，只以受激態(tài)出現(xiàn)的任何雙原子分子(有時還包含三原子分子)」。

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