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準(zhǔn)分子激光氣體(Excimer Laser Gas Mixtures)包括AF(193nm)，準(zhǔn)分子預(yù)混氣供應(yīng)，KrF(248nm)，XeCl (308nm)預(yù)混氣體，主要應(yīng)用于眼科醫(yī)1療、光纖、半導(dǎo)體、材料科學(xué)、電子、平板等領(lǐng)域。作為當(dāng)今1有效，1可靠的脈沖紫外激光技術(shù)的代表，準(zhǔn)分子激光器有效的推進(jìn)了諸如半導(dǎo)體，AMOLED平板顯示，呼和浩特準(zhǔn)分子預(yù)混氣，薄膜，硅底板加工、有機(jī)金屬沉淀、高溫超導(dǎo)、刻蝕、材料研究、汽車制造、生物醫(yī)1療、光纖、鉆石達(dá)標(biāo)設(shè)備及可替代能源等多種成長型工業(yè)中的技術(shù)更新。

注意事項:準(zhǔn)分子激光氣體為高壓充裝氣體，使用時應(yīng)經(jīng)減壓降1壓后方可使用。包裝的氣瓶上均有使用的年限，凡到期的氣瓶必須送往有部門進(jìn)行安全檢驗，方能繼續(xù)使用。每瓶氣體在使用到尾氣時，準(zhǔn)分子預(yù)混氣供應(yīng)商，應(yīng)保留瓶內(nèi)余壓在0.5MPa，較小不得低于0.25MPa余壓，準(zhǔn)分子預(yù)混氣公司，應(yīng)將瓶閥關(guān)閉，以保證氣體質(zhì)量和使用安全。瓶裝氣體產(chǎn)品在運(yùn)輸儲存、使用時都應(yīng)分類堆放，嚴(yán)禁可燃?xì)怏w與助燃?xì)怏w堆放在一起，不準(zhǔn)靠近明火和熱源，應(yīng)做到勿近火、勿沾油臘、勿爆曬、勿重拋、勿撞擊，嚴(yán)禁在氣瓶身上進(jìn)行引弧或電弧，嚴(yán)禁野蠻裝卸。

準(zhǔn)分子激光由Nikolai Basov， V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所發(fā)明。使用電子束激發(fā)氙氣二聚體，產(chǎn)生的準(zhǔn)分子激光波長為172nm。

1975年包括美國政府的海1軍研究實驗室、諾思羅普研究和技術(shù)中心，Avco Everett研究實驗室，和美國桑迪亞國家實驗室在內(nèi)的多家政府研究機(jī)構(gòu)研究利用電子束激發(fā)惰性氣體鹵化物。

1979年西德Lambda Physik公司生產(chǎn)出第1臺商業(yè)用準(zhǔn)分子激光器。

迄今為止已經(jīng)發(fā)現(xiàn)的能夠產(chǎn)生準(zhǔn)分子激光的氣體有10多種。

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